Nossas instalações estão abertas para usuários externos, oferecendo equipamentos e processos integrados para a nano e microfabricação de dispositivos envolvendo deposição de filmes finos, fotolitografia, litografia por feixe de elétrons, processos de gravação, corrosão e integração. As instalações de micro e nanofabricação incluem um conjunto de salas limpas nas classes 100, 1000 e 10000, com mais de 20 equipamentos avançados de fabricação.
Juntamente com a fabricação a divisão oferece um conjunto de sistemas para a caracterização elétrica de dispositivos. A equipe de especialistas dá suporte aos estudantes e pesquisadores através do treinamento e manutenção dos equipamentos e processos.
- Conheça a Divisão
- Instalações
- Laboratório de Crescimento In-Situ
- Laboratório de Espectroscopia e Espalhamento
- Laboratório de Fotoeletroquímica
- Laboratório de Microscopia Eletrônica de Transmissão
- Laboratório de Microscopia Eletrônica de Varredura & Duplo Feixe
- Laboratório de Microscopia de Força Atômica
- Laboratório de Processamento de Nanocerâmicas
- Laboratório de Síntese de Nanomateriais
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