Processos de corrosões disponíveis
Metais
- Alumínio
- Solução: TechniEtch Al80
- Cromo
- Solução: TechniEtch Cr01
- Reativo com: Cr, Fe, Mo, Ni, Al, Ti, W, Cu, Ag, V, Co, Mn e Sn
- Água Régia
- Mistura de ácido clorídrico (HCl) e ácido nítrico (HNO3) em uma razão de 3:1.
Óxidos
- Ácido Fluorídrico (HF)
- BOE
- Mistura de fluoreto de amônio (NH4F) e ácido fluorídrico (HF). Ataca principalmente Si3N4 e SiO2.
Limpeza orgânica
- Solução piranha
- Mistura de ácido sulfúrico e peróxido de hidrogênio em uma razão de 2:1
RCA
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- Instalações
- Laboratório de Crescimento In-Situ
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- Laboratório de Fotoeletroquímica
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- Laboratório de Microscopia Eletrônica de Varredura & Duplo Feixe
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- Laboratório de Processamento de Nanocerâmicas
- Laboratório de Síntese de Nanomateriais
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