Filmes Finos e Topografia
Equipamentos
LSCM VK-X200 - Keyence
- Tamanho de amostra: máx. 100 x 100 x 28 mm (L x P x A);
- Comprimento de onda: 408 nm (violeta);
- Técnica limitada para filmes transparentes menores que 1 µm.
Lentes disponíveis:
| Lente | NA | Distância de trabalho |
| 10x | 0.3 | 16.5 mm |
| 20x | 0.46 | 3.1 mm |
| 50x | 0.95 | 350 µm |
| 150x | 0.95 | 200 µm |
Dektak DXT S – Bruker
- Tamanho de amostra: Até 176 mm;
- Tipo de medida: Por contato;
- Raio da ponta: 12.5 µm;
- Software para tratamento de imagem: VISION64 Offline Analysis Software;
- Mesa anti-vibratória;
- Porta amostras com vácuo para wafer de 50 mm e 76 mm;
- Padrão de calibração: 88 nm;
- Resolução em z: 0.4 nm.
Câmera de 3.1 Mpixel
Theta Lite – Attension
- Tamanho de amostra: máx. 10 x 10 mm;
- Volume da gota: 10 µL;
- Tensão superficial;
- Ângulo de Contato;
- Menisco;
- Estágio x-y e dispensa da água todo manual;
- Opera somente com água.