Laboratório de Filmes Finos e Medidas Elétricas se dedica à produção de filmes finos, sua integração em dispositivos funcionais, e a caracterização elétrica destes. A infraestrutura disponível conta uma sala limpa (100 m2) com sistemas de deposição de filmes finos por vapor físico (PVD) via e-beam, deposição de óxidos por ALD (atomic layer deposition), sistema de etching por íons reativos (RIE), e processos de fotolitografia. O Laboratório conta ainda com instalações para deposição de filmes finos por dipcoating, spincoating, inkjet printing, e um sistema de Epitaxia por Feixe Molecular (MBE) para o crescimento de compostos monocristalinos III-V e heteroestruturas baseadas em As, Ga, Al, In e Si. As instalações para a caracterização elétrica de materiais e dispositivos incluem um PPMS (Physical Parameter Measurement System) Dynacool (1.8 K – 400K) com refrigerador de diluição (até 50 mK) e apto a trabalhar com campos magnéticos de até 14T, probe stations criogênicas e cryogenfree, analisadores de parâmetros semicondutores (Keithley 4200 SCS), potenciostatos, osciloscópios, amplificadores lock-in e demais instrumentos.
Equipamentos
Potenciostato / Galvanostato
Especificações:
- Conexões do eletrodo: 2, 3 e 4;
- Medições voltamétricas, amperométricas, galvanostáticas e impedimétricas;
- Faixa de potencial: +/- 10 V;
- Tensão de conformidade: +/- 30 V;
- Corrente máxima: +/- 2 A;
- Faixas de corrente: 1 A a 10 nA (100 pA com módulo ECD);
- Interface para PC: USB;
- Software de controle: NOVA;
- Módulos extras: FRA32M e ECD;
- FRA / EIS: 10 μHz a 1 MHz.
Medida de corrente x tensão (IxV)
Especificações:
- Analisador de parâmetros
- 4 SMUs – 2x 4210-SMU and 2x 4200-PA
- Fonte de corrente: Máx 1A, Min 1fA
- Fonte de tensão: Máx 210V, Min 5 µV
- Módulo disponível: 4210 – CVU
- Frequência: 1 kHz até 10 MHz (frequência fixa)
- Saida AC: 10 mV até 100 mV RMS
- Saida DC: +/-30 VDC
Potenciostato / Galvanostato / Analisador de Impedância
Especificações:
Medições voltamétricas, pulsadas, amperométricas, galvanostáticas e de impedimétricas;
FRA / EIS: 10 μHz a 1 MHz;
Faixa de potencial DC: ± 10 V;
Corrente máxima: ± 30 mA;
Variação de corrente: 100 pA a 10 mA;
Interface para PC e smartphone: conexão Bluetooth ou USB.
μstat 4000P – Dropsens
Especificações:
Multicanal com até 4 eletrodos de trabalho, compartilham um eletrodo auxiliar e um de referência;
Medições voltamétricas ou amperométricas;
Faixa de potencial: +/- 4 V;
Corrente máxima: +/- 80 Ma;
Intervalos de corrente: 1 nA a 100 mA;
Interface para PC: USB e Bluetooth®;
Alimentado por bateria.
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