O Laboratorio de Microfabricação e Microfluídica se dedica ao desenvolvimento de dispositivos e processos em escala micrométrica. Dispõe de uma sala limpa classe ISO 7 de 30m2 e uma área de processos com 190m2, com equipamentos para fotolitografia (UV e laser pattern generator), processos de corrosão por via úmida, deposição física de vapor (PVD) por feixe de elétrons e por sputtering DC/RF, método de impressão 3D (Fused Deposition Modeling – FDM e Stereolithography – SLA), inspeção de amostras e metrologia (microscópios ópticos e perfilômetros). O laboratório é capaz de desenvolver dispositivos como sistemas microeletromecânicos (MEMS), dispositivos microfluídicos (lab-on-a-chip), sensores ópticos, sensores químicos (colorímetros, separação, detecção – amperométrico e voltamétrico), sensores de deslocamento (MEMS acelerômetros) e dispositivos RF (filtros THz, SAW, RFID).
Equipamentos
μstat 4000P – Dropsens
Especificações:
Multicanal com até 4 eletrodos de trabalho, compartilham um eletrodo auxiliar e um de referência;
Medições voltamétricas ou amperométricas;
Faixa de potencial: +/- 4 V;
Corrente máxima: +/- 80 Ma;
Intervalos de corrente: 1 nA a 100 mA;
Interface para PC: USB e Bluetooth®;
Alimentado por bateria.
Potenciostato / Galvanostato / Analisador de Impedância
Especificações:
Medições voltamétricas, pulsadas, amperométricas, galvanostáticas e de impedimétricas;
FRA / EIS: 10 μHz a 1 MHz;
Faixa de potencial DC: ± 10 V;
Corrente máxima: ± 30 mA;
Variação de corrente: 100 pA a 10 mA;
Interface para PC e smartphone: conexão Bluetooth ou USB.
Analisador de Impedância
Especificações:
Módulos: MFRA 1MHz, MREF, MAT 1MHz;
Tensão máxima DC: ± 8 V;
Corrente máxima: ± 100 mA;
Resolução máxima: 1 μV;
FRA: 10 μHz a 1 MHz;
Interface PC: Ethernet 100BASE-T.
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