A Divisão de Nano e Microfabricação tem uma infraestrutura dedicada ao design, fabricação e caracterização de dispositivos e sistemas funcionais. A pesquisa em micro e nano tecnologias é essencial para muitos grupos de pesquisa nacionais e internacionais, e empresas que baseiam sua atividade na disponibilidade de infraestruturas adequadas. As instalações de fabricação de dispositivos no LNNano são ferramentas importantes para melhorar o nível de P&D acadêmico, mas também para promover a inovação e a competitividade no setor.

As nossas instalações estão abertas para usuários externos oferecendo de equipamentos à processos integrados para a fabricação de dispositivos envolvendo deposição de filmes finos, fotolitografia, gravação e integração. As instalações de micro e nanofabricação incluem um conjunto de salas limpas nas classes 100, 1000 e 10000, com mais de 20 equipamentos avançados de fabricação e seu processo otimizado. Juntamente com a fabricação a divisão oferece um conjunto de sistemas para a caracterização elétrica de dispositivos. A equipe de especialistas dá suporte aos estudantes e pesquisadores através do treinamento e manutenção dos equipamentos e processos.

Na pesquisa interna temos dado foco ao desenvolvimento de componentes baseados em nanomateriais e nanoestruturas com funcionalidades únicas. De sensores em substratos flexíveis até sistemas micro e nanofluídicos, a pesquisa desenvolvida na divisão busca o equilibro sinérgico entre o conhecimento básico e a aplicação voltada as demandas nas áreas de saúde, energia e meio ambiente.