Ferramentas de Inspeção e caracterização de Superfície

A técnica de microscopia confocal a laser permite realizar o imageamento e medidas de topologia com alta profundidade de foco. O equipamento combina a microscopia ótica convencional e a laser para obter imagens com alta resolução espacial. Estes sistemas são conhecidos pelo acrônimo LSM ou LSCM (Laser Scanning Confocal Microscopy). As imagens são formadas baseadas na luz refletida pela amostra. Através de uma eletrônica embarcada é possível definir o ponto mais alto e ponto mais baixo (eixo-Z) da área de interesse e fatiar as imagens de modo que sejam adquiridas várias imagens da mesma região, mas com pontos diferentes no eixo-Z. Ao final da medida, as imagens são combinadas de tal maneira que é possível efetuar a reconstrução tridimensional (3D). O passo de deslocamento no eixo-Z pode chegar até 10 nm. De modo análogo ao tamanho da sonda por microscopia de contato, o tamanho da “sonda” ótica depende basicamente do comprimento de onda utilizado e o número de abertura das lentes utilizadas para focalizar a luz na amostra. Neste sistema, a sonda pode chegar até 200 nm de diâmetro (Eixo x-y), para as lentes com NA de 0,95.