FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOSA divisão de Nano e Microfabricação do LNNano oferece uma infraestrutura multiusuário aberta para pesquisa e desenvolvimento de dispositivos para as mais diversas aplicações, criada para apoiar as comunidades científica e industrial. O processamento inclui etapas de limpeza e corrosão, foto e nanolitografia*, escrita direta, deposição de filmes finos, impressão 3D e uma plataforma completa para fabricação de dispositivos microfluídicos.
Todas as instalações possuem acesso por agendamento, equipe altamente capacitada nas técnicas disponíveis, suporte e orientação em todas as etapas dos processos.
Além de toda infraestrutura disponível para fabricação de dispositivos e sensores, a divisão conta com um parque de equipamentos dedicados à caracterização elétrica, sendo possível, também, realizar medidas com variação de temperatura e campo magnético
(mín de 50 mK e campo de ± 14 T).
O laboratório conta também com equipamentos para preparo de amostras como corte de precisão com discos de diamante e micro-solda para conexão de dispositivos. Para caracterização topológica, a divisão conta com um microscópio confocal a laser (LSCM), com comprimento de onda fixo em 408 nm (violeta), que pode ser utilizado como técnica complementar às microscopias eletrônica e de força atômica (MEV e AFM).
Amostras com rugosidades elevadas tornam-se inviáveis para análises com AFM e com MEV, pois não é possível extrair dados quantitativos. Com a ferramenta VK-X200 é possível analisar superfícies rugosas com alta resolução espacial (até 10nm no eixo-z). Além disso, é possível extrair um mapa tridimensional da região analisada e obter dados como perfil e rugosidade. Outras técnicas de análise topológica também estão disponíveis como a perfilometria por contato, em que utiliza-se uma sonda de raio de até 6.5 μm para interagir com a superfície do substrato e extrair parâmetros de perfil e rugosidade.
* A partir de junho de 2021