Materials Science in Semiconductor Processing v. 121, p. 105339, 2021 3.085 10.1016/j.mssp.2020.105339 Vieira, D. H. ; Ozório, M. da S.; Nogueira, G. L. ; Santos, L. F.; Alves, N. 2021

Materials Science in Semiconductor Processing v. 121, p. 105339, 2021 3.085 10.1016/j.mssp.2020.105339 Vieira, D. H. ; Ozório, M. da S.; Nogueira, G. L. ; Santos, L. F.; Alves, N. 2021