Chemical state of phosphorous at the SiC/SiO2 interface

Thin Solid Films v. 675, p. 172-176, 2019 1.888 10.1016/j.tsf.2019.02.038 Pitthan Filho, E.; Amarasinghe, V. P. ; Xu, C. ; Gobbi, A. L.; Dartora, G. H. S. ; Gustafsson, T. ; Feldman, L. C. ; Stedile, F. C. 2019