Arquivo de Categoria: Divisão de Dispositivos

Laboratório de Filmes Finos e Medidas Elétricas

Laboratório de Filmes Finos e Medidas Elétricas​ Laboratório de Filmes Finos e Medidas Elétricas se dedica à produção de filmes finos, sua integração em dispositivos funcionais, e a caracterização elétrica destes. A infraestrutura disponível conta uma sala limpa (100 m2) com sistemas de deposição de filmes finos por vapor físico (PVD) via e-beam, deposição de…

Micro e Nanofabricação

Laboratório de Nanofabricação​ O Laboratório de Nanofabricação se dedica ao desenvolvimento de nanodispositivos. Suas instalações oferecem uma infraestrutura avançada de sala-limpa (100 m2) com ambientes classes ISO 6 e ISO 7 dedicadas a processos de litografia por feixe de elétrons, ion milling, capelas para deposição de resinas, e instrumentação para metrologia e controle de qualidade…