Micro e Nanofabricação
Laboratório de Nanofabricação O Laboratório de Nanofabricação se dedica ao desenvolvimento de nanodispositivos. Suas instalações oferecem uma infraestrutura avançada de sala-limpa (100 m2) com ambientes classes ISO 6 e ISO 7 dedicadas a processos de litografia por feixe de elétrons, ion milling, capelas para deposição de resinas, e instrumentação para metrologia e controle de qualidade…